甲氧基三甲基硅烷的制法通常采用甲基三甲基硅烷和甲醇的酯交换反应来制备。（该工艺由于产品和甲醇沸点相差不大，分离困难，得到的产品纯度低，很难做到96％以上）

1、功能性涂料和油墨的添加剂：甲氧基三甲基硅烷可以作为涂料和油墨的防水剂，改善它们的耐水性能。 2、硅橡胶的交联剂：甲氧基三甲基硅烷可以与硅橡胶分子中的氢原子反应，实现与硅橡胶的交联，提高硅橡胶的力学性能和耐热性能。 3、丙烯酸胶的聚合抑制剂：甲氧基三甲基硅烷可以抑制丙烯酸聚合过程中的粘接，从而延长丙烯酸胶的保存寿命。