三乙基硅烷的制备方法主要通过硅与有机卤化物反应得到。例如，将三氯硅烷与甲醇反应，生成三乙基硅烷和氯化氢。

- 作为有机硅的衍生物，三乙基硅烷在许多应用中被广泛使用，比如作为表面处理剂、润滑剂和抗粘剂。 - 它还可以用于合成硅烷基聚合物、硅烷基胶和硅烷基涂料等材料，具有改善产品性能的作用。 - 三乙基硅烷也可以用作金属表面的润滑剂，提供较低的摩擦系数和更好的耐磨性。